無錫冠亞智能裝備有限公司
在半導(dǎo)體涂膠顯影制造過程中，涂膠顯影水冷機(jī)Photo/TrackTrack chiller作為工藝溫控的設(shè)備，通過準(zhǔn)確的溫度調(diào)節(jié)與穩(wěn)定散熱的能力，為光刻、刻蝕、涂膠顯影等關(guān)鍵制程提供穩(wěn)定的熱管理支持，其技術(shù)性能直接影響制造的良品率。
涂膠顯影水冷機(jī)Photo/TrackTrack chiller的核心制冷系統(tǒng)采用復(fù)疊式設(shè)計(jì)，通過多級(jí)換熱實(shí)現(xiàn)寬范圍溫度控制。制冷循環(huán)系統(tǒng)由壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等關(guān)鍵部件構(gòu)成，壓縮機(jī)壓縮制冷劑氣體形成高溫高壓狀態(tài)，經(jīng)冷凝器冷卻液化后，通過膨脹閥減壓降溫，在蒸發(fā)器中與循環(huán)介質(zhì)進(jìn)行熱交換實(shí)現(xiàn)制冷效果。這種設(shè)計(jì)滿足半導(dǎo)體制造中不同工藝階段的溫控需求。系統(tǒng)采用全密閉循環(huán)設(shè)計(jì)，配備磁力驅(qū)動(dòng)泵，避免傳統(tǒng)設(shè)備因密封問題導(dǎo)致的介質(zhì)泄漏，確保長期運(yùn)行的穩(wěn)定性。
在溫度控制精度方面，涂膠顯影水冷機(jī)整合多種算法實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確調(diào)控。設(shè)備采用PLC可編程控制器，結(jié)合PID、前饋PID及無模型自建樹算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)循環(huán)介質(zhì)溫度的快速響應(yīng)與準(zhǔn)確控制。溫度反饋通過高精度傳感器實(shí)時(shí)采集，確保芯片制造過程中的溫度波動(dòng)控制在較小范圍內(nèi)。操作界面配備定制化彩色觸摸屏，可實(shí)時(shí)顯示溫度曲線并支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出，便于工藝參數(shù)優(yōu)化與質(zhì)量追溯。
涂膠顯影水冷機(jī)的散熱效能優(yōu)化通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與介質(zhì)選擇實(shí)現(xiàn)。設(shè)備采用板式換熱器作為換熱核心，通過改變換熱面積提升熱交換效率，適用于半導(dǎo)體制造中高發(fā)熱量場景。循環(huán)介質(zhì)可選用硅油、乙二醇水溶液等，其中氟化液適用于低溫環(huán)境，可支持較低的溫控需求。加熱需求通過壓縮機(jī)熱氣加熱方式實(shí)現(xiàn)。系統(tǒng)經(jīng)過氦檢測與連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)測試，確保無泄漏風(fēng)險(xiǎn)且運(yùn)行穩(wěn)定，滿足半導(dǎo)體制造車間的高潔凈度要求。
在流量與壓力控制方面，涂膠顯影水冷機(jī)采用變頻技術(shù)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)。變頻泵可根據(jù)設(shè)定的輸出壓力與流量自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，在不同配管條件下無需旁通管路即可維持穩(wěn)定參數(shù)，適應(yīng)芯片制造中不同設(shè)備的負(fù)載變化。膨脹罐的設(shè)置緩沖系統(tǒng)壓力波動(dòng)，保障循環(huán)介質(zhì)流量穩(wěn)定，避免因壓力突變影響溫度穩(wěn)定性。進(jìn)出接口采用標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)，便于現(xiàn)場安裝與維護(hù)，減少設(shè)備調(diào)試時(shí)間。
涂膠顯影水冷機(jī)的安全防護(hù)體系為生產(chǎn)過程提供保障。設(shè)備具備相序斷相保護(hù)、壓力保護(hù)、過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多重安全保障功能，確保異常情況下的系統(tǒng)安全。制冷系統(tǒng)壓力通過指針式壓力表實(shí)時(shí)監(jiān)測，循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測并顯示在觸摸屏上，操作人員可直觀掌握設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。系統(tǒng)支持漏液檢測與防凝露控制，適應(yīng)半導(dǎo)體制造車間的環(huán)境，避免因冷凝水導(dǎo)致的設(shè)備故障或電路短路。
在實(shí)際應(yīng)用中，涂膠顯影水冷機(jī)可根據(jù)工藝需求進(jìn)行靈活配置，維護(hù)體系確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，閥門組件等易損部件采用分體式結(jié)構(gòu)，便于拆卸與更換。
隨著半導(dǎo)體制造工藝的不斷升級(jí)，涂膠顯影水冷機(jī)Photo/TrackTrack chiller通過準(zhǔn)確的溫度控制、穩(wěn)定的流量輸出與安全防護(hù)，為半導(dǎo)體涂膠顯影制造工藝提供可靠的熱管理支持。
