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	   真空控溫卡盤Chuck 
	
	
          
	
          
		
          
       
          真空控溫卡盤Chuck
          
	   
          
	   
	   Chiller直冷控溫機組 
	   604
	   
	
          
	  

          	
		
          該產(chǎn)品可以實現(xiàn)快速溫度變化，jing準(zhǔn)控制溫度。系統(tǒng)本??帶制冷機，避免了液氮、?氧化碳等的消耗，每個系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元。
          

          系統(tǒng)提供開放的表?平整?作平臺，快速升降溫、恒溫控制，運?于RF器件和?密度功率器件測試，也可以運?于實驗室平板快速冷卻（?漿、?物制品、電池）等平板內(nèi)部采?制冷劑直接蒸發(fā)?式，相對液冷?式?幅度提?了換熱效率，提?單位?積平板的換熱功率。
          

          
	
          
	
          

          	


            

          

	
          產(chǎn)品詳情
          快速溫變控溫卡盤CHUCK
          

          該產(chǎn)品可以實現(xiàn)快速溫度變化，jing準(zhǔn)控制溫度。系統(tǒng)本??帶制冷機，避免了液氮、?氧化碳等的消耗，每個系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元。
          

          系統(tǒng)提供開放的表?平整?作平臺，快速升降溫、恒溫控制，運?于RF器件和?密度功率器件測試，也可以運?于實驗室平板快速冷卻（?漿、?物制品、電池）等
          

          平板內(nèi)部采?制冷劑直接蒸發(fā)?式，相對液冷?式?幅度提?了換熱效率，提?單位?積平板的換熱功率。
          

          


          
溫度范圍
-70℃~200℃（可以定制各種溫度范圍）

          

          
溫度均勻性
土0.5℃

          

          
加熱速率
-55℃至+25℃：12 分鐘
          
-40℃至+25℃：10 分鐘
          
+25℃至+150℃：20 分鐘
          
+25℃至+200℃：28 分鐘
          
+25℃至+300℃：40 分鐘          		

          

          
冷卻速率
+150℃至+25℃：25 分鐘
          
+200℃至+25℃：30 分鐘
          
+300℃至+25℃：40 分鐘
          
+25℃至0℃：15 分鐘
          
+25℃至-40℃：35 分鐘
          
+25℃至-55℃：65 分鐘          		

          

          
冷卻方式
直冷系統(tǒng)/液冷系統(tǒng)/氣冷系統(tǒng)

          

          
控溫方式
內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FII調(diào)節(jié)控溫

          

          
晶圓載板
鍍鎳(金/非導(dǎo)電)，與卡盤柔性連接，方便更換，載板平面度3μm≤10μm

          

          
晶圓吸附類型
真空吸附

          

          
卡盤尺寸
φ330*58mm

          

          
電源220V 50HZ
200~230V AC50/60HZ 16A max

          

          
通訊方式
ModbusRTU協(xié)議,RS485接口，選配CAN通信總線、以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議

          
          

          

          	
	
		
	
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