雙通道系列Chiller

2025/07/23 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 403

雙通道系列 Dual Channel Chiller

產(chǎn)品特點(diǎn)

特點(diǎn)一控溫范圍：-45℃~+90℃，控溫精度：±0.1℃

特點(diǎn)二采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品gao效節(jié)能

特點(diǎn)三先進(jìn)的密封技術(shù)，減少循環(huán)液的泄漏及揮發(fā)

特點(diǎn)四符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品

產(chǎn)品介紹產(chǎn)品參數(shù)

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適用范圍

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無(wú)模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

每個(gè)通道具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨(dú)立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無(wú)壓縮機(jī)換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。

加載情況下控溫精度可達(dá)士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。

型號(hào)	FLTZ-203W-2T
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-20℃～+90℃	-20℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
制冷量	4kW@-10℃	4kW@-10℃
加熱能力	2kW	2kW
流量/壓力 MAX	20L/min 0.5MPa	20L/min 0.5MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	20L/min	20L/min
斷路器	30A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	400kg
外形尺寸 cm	5090160

型號(hào)	FLTZ-406W/ETCU-015W
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-45℃～+40℃	+10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	13kW@+10℃
加熱能力	2kW	6kW
流量/壓力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	40L/min	20L/min
斷路器	80A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	550kg
外形尺寸 cm	60100185

型號(hào)	FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng)		FLTZ-305W/2T? 雙系統(tǒng)		FLTZ-406W/2T? 雙系統(tǒng)
溫度范圍	-20℃~90℃		?-30℃~90℃		-45℃~90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	15~45L/min 6bar
制熱	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
制冷量	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨脹罐容積	15L		25L		25L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等
制冷劑	R404A/ R448
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4
冷卻水	50L/min at20℃		60L/min at20℃		50L/min at20℃
電源	三相220V? /? 三相400V? /三相460V
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

型號(hào)	FLTZ-203W-2T
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-20℃～+90℃	-20℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
制冷量	4kW@-10℃	4kW@-10℃
加熱能力	2kW	2kW
流量/壓力 MAX	20L/min 0.5MPa	20L/min 0.5MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	20L/min	20L/min
斷路器	30A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	400kg
外形尺寸 cm	5090160

型號(hào)	FLTZ-406W/ETCU-015W
管道	通道1	通道2
溫度范圍	-45℃～+40℃	+10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	11kW@-20℃ 5kW@-40℃	13kW@+10℃
加熱能力	2kW	6kW
流量/壓力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35℃	10～35℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	40L/min	20L/min
斷路器	80A
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）
重量	550kg
外形尺寸 cm	60100185

型號(hào)	FLTZ-203W/2T雙系統(tǒng)		FLTZ-305W/2T? 雙系統(tǒng)		FLTZ-406W/2T? 雙系統(tǒng)
溫度范圍	-20℃~90℃		?-30℃~90℃		-45℃~90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
流量/壓力 MAX	15~45L/min 6bar
制熱	2.5kW	2.5kW	2.5kW	2.5kW	3.5kW	3.5kW
制冷量	3kW at-15℃	3kW at-15℃	5kW at-15℃	5kW at-15℃	2.5kW at -35℃	2.5kW at -35℃
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	5L	8L	8L	8L	8L
膨脹罐容積	15L		25L		25L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等
制冷劑	R404A/ R448
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4
冷卻水	50L/min at20℃		60L/min at20℃		50L/min at20℃
電源	三相220V? /? 三相400V? /三相460V
?藝過(guò)程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度（動(dòng)態(tài)控溫）

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