LNEYA 帕爾貼熱電制冷器Chiller有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和jing確的溫度控制
- 高可靠性和低使用成本；工業(yè)空間占用率小；ji低的導熱液填充量；
- 低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統(tǒng)，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗；
- 制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導熱液直接接觸；動態(tài)控溫，jing準控制過程溫度，快速溫度響應；
- 溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定；gai善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性；模塊化部件使得維修更加方便；使用全氟液體。
| 型號 |
TEC-1200W |
TEC-2500W |
TEC-4500W |
| 溫度范圍 |
-20℃~90℃ |
| 控溫精度 |
±0.1℃ |
| 制冷能力 |
20℃ |
1200W |
2450W |
4500W |
| 10℃ |
900W |
1925W |
3500W |
| 0℃ |
600W |
1400W |
2600W |
| ?-10℃ |
350W |
875W |
1600W |
| ?-20℃ |
80W |
350W |
700W |
| 制熱能力 |
＞3000W |
＞6000W |
＞12000W |
| 泵類型 |
直流磁力泵 |
| 壓力（bar） |
≤4 |
| 流量 |
15L/min at 2bar |
| 流體 |
Galden HT135 |
| 冷卻水溫度 |
DI＜20℃ |
| 冷卻水流量 |
≥12L/min |
≥20L/min |
≥32L/min |
| CDA開啟溫度 |
＜30℃ |
| CDA壓力 |
0.5-0.8bar |
| CDA流量 |
2-3m3/h |
| CDA露點溫度 |
≤30℃ |
| 電源電壓 |
AC208V,三相電壓 |
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