閉式冷卻循環(huán)水系統(tǒng)

涂膠顯影水冷機Photo/Track Chiller如何提升光刻膠均勻性

2025/07/17 62

在半導體涂膠顯影制造過程中，涂膠顯影水冷機Photo/TrackTrack chiller作為工藝溫控的設備，通過準確的溫度調(diào)節(jié)與穩(wěn)定散熱的能力，為光刻、刻蝕、涂膠顯影等關(guān)鍵制程提供穩(wěn)定的熱管理支持，其技術(shù)性能直接影響制...

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