實(shí)驗(yàn)室冷卻機(jī)

涂膠顯影水冷機(jī)Photo/Track Chiller如何提升光刻膠均勻性

2025/07/17 63

在半導(dǎo)體涂膠顯影制造過程中，涂膠顯影水冷機(jī)Photo/TrackTrack chiller作為工藝溫控的設(shè)備，通過準(zhǔn)確的溫度調(diào)節(jié)與穩(wěn)定散熱的能力，為光刻、刻蝕、涂膠顯影等關(guān)鍵制程提供穩(wěn)定的熱管理支持，其技術(shù)性能直接影響制...

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