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半導(dǎo)體溫控裝置
主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制40°C以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱濃
循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵淡
氨檢測(cè)，安規(guī)檢測(cè)，確保系統(tǒng)安全可靠興
經(jīng)過(guò)24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)
半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個(gè)重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。
冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過(guò)擁有超過(guò)16年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺(tái)直接配套經(jīng)驗(yàn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識(shí)以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測(cè)試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。
| 型號(hào) | FLTZ-305W | FLTZ-305W/2T ?????????雙系統(tǒng) | |
| 溫度范圍 | -30℃~40℃ | -30℃~40℃ | -30℃~40℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 流量控制 | 15～45L/min ±0.3 | 15～45L/min ±0.3 | 15～45L/min ±0.3 |
| 泵壓力 | 6bar max | 6bar max | 6bar max |
| 制熱 | 2.5kw | 2.5kw | 2.5kw |
| 制冷量@15℃ | 11kw | 11kw | 11kw |
| 制冷量@-15℃ | 5kw ??約4500rpm | 5kw ??約4500rpm | 5kw ??約4500rpm |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 8L | 8L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 15L | 25L | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液、防凍液、導(dǎo)熱硅油等 | ||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 冷卻水接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | |
| 冷卻水 | 30L/min @20℃ | 60L/min @20℃ | |
| 電源 | 220V 50/60HZ | 220V 50/60HZ | |
| 斷路器 | 40A | 80A | |
| 尺寸 | 450*700*1600 | 650*850*1600 | |
| 選配3.5kw電加熱，溫度可擴(kuò)展到90℃，電源需要改成380V | |||
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