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半導體溫控裝置
主要應(yīng)用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制40°C以內(nèi)加熱方式采用壓縮機熱氣加熱濃
循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵淡
氨檢測，安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠興
經(jīng)過24小時連續(xù)運行拷機
半導體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。
冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽w客戶提供標準產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。
| 型號 | FLT-002 | FLT-003 | FLT-004 | FLT-006 | FLT-008 | FLT-010 | FLT-015 |
| FLT-002W | FLT-003W | FLT-004W | FLT-006W | FLT-008W | FLT-010W | FLT-015W | |
| 溫度范圍 | 5℃～40℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min? 5bar max | 15～45L/min? 6bar max | 25～75L/min? 6bar max | ||||
| 制冷量at10℃ | 6kw | 8kw | 10kw | 15 kw | 20kw | 25kw | 40kw |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R410A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? （DI溫度需要控制10℃以上） | ||||||
| 進出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷卻水口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/h | 2m3/h | 2.5m3/h | 4m3/h | 4.5m3/h | 5.6m3/h | 9m3/h |
| 電源380V | 3.5kW | 4kW | 5.5kW | 7kW | 9.5kW | 12kW | 16kW |
| 溫度擴展 | 通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃ | ||||||
| 型號 | FLT-202 | FLT-203 | FLT-204 | FLT-206 | FLT-208 | FLT-210 | FLT-215 |
| FLT-202W | FLT-203W | FLT-204W | FLT-206W | FLT-208W | FLT-210W | FLT-215W | |
| 溫度范圍 | -25℃～40℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min ±0.3 | 15～45L/min ±0.3 | 25～75L/min ±0.3 | ||||
| 流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，循環(huán)泵最大壓力5bar | |||||||
| 制冷量at-15℃ | 2kw | 3kw | 3.8kw | 6kw | 7.6kw | 10kw | 15kw |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 | ||||||
| 進出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷卻水接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
| 電源380V | 3KW | 4KW | 6KW | 8KW | 9KW | 13KW | 17KW |
| 溫度擴展 | 通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃ | ||||||
| 型號 | FLT-402 | FLT-403 | FLT-404 | FLT-406 | FLT-408 | FLT-410 | FLT-415 |
| FLT-402W | FLT-403W | FLT-404W | FLT-406W | FLT-408W | FLT-410W | FLT-415W | |
| 溫度范圍 | -45℃～40℃ | ||||||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ||||||
| 流量控制 | 10～25L/min? 5bar max | 15～45L/min 6bar max | 25～75L/min 6bar max | ||||
| 制熱 | 采用壓縮機制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) | ||||||
| 制冷量at-35℃ | 1kw | 1.4kw | 1.8kw | 2.5kw | 3.3kw | 5kw | 8kw |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A | ||||||
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 | ||||||
| 進出接口尺寸 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG3/4 |
| 冷卻水接口 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 | ZG1 | ZG1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
| 電源380V | 3KW | 4KW | 6KW | 7.5KW | 9KW | 12KW | 15KW |
| 溫度擴展 | 通過增加電加熱器，擴展-25℃～80℃ | ||||||
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