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半導(dǎo)體溫控裝置
主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制40°C以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱濃
循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵淡
氨檢測(cè)，安規(guī)檢測(cè)，確保系統(tǒng)安全可靠興
經(jīng)過(guò)24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)
| 型號(hào) | FLT-803W | FLT-805W | FLT-806W | FLT-808W | FLT-810W |
| 溫度范圍 | -80℃～+80℃ | ||||
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ||||
| 流量控制 | 7～25L/min | 12～45L/min | |||
| 流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵最大壓力6bar | |||||
| 制冷量at-70℃ | 0.6KW | 1KW | 1.5KW | 2KW | 3KW |
| 加熱功率 | 2KW | 2KW | 2KW | 3.5KW | 3.5KW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | ||||
| 進(jìn)出接口 | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 冷卻水接口 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG1 | ZG1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| 電源 | 380V 50HZ | ||||
| 斷路器 | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| 型號(hào) | FLT-1002W | FLT-1004W |
| 溫度范圍 | -100℃～+80℃ | -100℃～+80℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 流量控制 | 7～25L/min | 12～45L/min |
| 流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，根據(jù)流量傳感器反饋信號(hào)自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，循環(huán)泵最大壓力6bar | ||
| 制冷量at-90℃ | 1.5KW | 3KW |
| 加熱功率 | 3.5KW | 5.5KW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 5L | 8L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 15L |
| 導(dǎo)熱介質(zhì) | 氟化液 | |
| 導(dǎo)熱介質(zhì)接口 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| 冷卻水接口 | ZG3/4 | ZG1 |
| 冷卻水a(chǎn)t20℃ | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| 電源 | 380V 50HZ | 380V 50HZ |
| 斷路器 | 32A | 63A |
| 尺寸 | 700*800*1850 | 800*1200*1850 |
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