半導(dǎo)體動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)

半導(dǎo)體工藝中動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)怎么滿足控溫需求？

2025/10/11 17

在半導(dǎo)體工藝設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中，晶圓制造、芯片封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)對(duì)溫度環(huán)境的要求較為嚴(yán)苛，不同工藝階段需準(zhǔn)確維持特定溫區(qū)，且溫區(qū)間需實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)切換。動(dòng)態(tài)控溫系統(tǒng)作為管理多段溫區(qū)的核心技術(shù)方案，通過(guò)溫度檢測(cè)、...

查看全文