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          半導(dǎo)體 chiller 常規(guī)型

          半導(dǎo)體 chiller 常規(guī)型

          半導(dǎo)體溫控裝置

          主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制40°C以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱濃

          循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計(jì)、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動(dòng)泵淡

          氨檢測(cè),安規(guī)檢測(cè),確保系統(tǒng)安全可靠興

          經(jīng)過(guò)24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)

           

          半導(dǎo)體投入大,制造工序多,為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益,需要在半導(dǎo)體的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控,影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個(gè)重要因素就是溫度,溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要,為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

          冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過(guò)擁有超過(guò)16年的溫度控制經(jīng)驗(yàn)以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺(tái)直接配套經(jīng)驗(yàn),我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識(shí)以及全球化服務(wù),有助于滿足您從鑄錠到測(cè)試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

           

           

          型號(hào) FLT-002 FLT-003 FLT-004 FLT-006 FLT-008 FLT-010 FLT-015
          FLT-002W FLT-003W FLT-004W FLT-006W FLT-008W FLT-010W FLT-015W
          溫度范圍 5℃~40℃
          控溫精度 ±0.1℃
          流量控制 10~25L/min? 5bar max 15~45L/min? 6bar max 25~75L/min? 6bar max
          制冷量at10℃ 6kw 8kw 10kw 15 kw 20kw 25kw 40kw
          內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
          膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
          制冷劑 R410A
          載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? (DI溫度需要控制10℃以上)
          進(jìn)出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
          冷卻水口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
          冷卻水流量at20℃ 1.5m3/h 2m3/h 2.5m3/h 4m3/h 4.5m3/h 5.6m3/h 9m3/h
          電源380V 3.5kW 4kW 5.5kW 7kW 9.5kW 12kW 16kW
          溫度擴(kuò)展 通過(guò)增加電加熱器,擴(kuò)展-25℃~80℃

           

          型號(hào) FLT-202 FLT-203 FLT-204 FLT-206 FLT-208 FLT-210 FLT-215
          FLT-202W FLT-203W FLT-204W FLT-206W FLT-208W FLT-210W FLT-215W
          溫度范圍 -25℃~40℃
          控溫精度 ±0.1℃
          流量控制 10~25L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3 25~75L/min ±0.3
          流量控制采用變頻器調(diào)節(jié),循環(huán)泵最大壓力5bar
          制冷量at-15℃ 2kw 3kw 3.8kw 6kw 7.6kw 10kw 15kw
          內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
          膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
          制冷劑 R404A
          載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
          進(jìn)出接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
          冷卻水接口 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
          冷卻水流量at20℃ 1.2m3/H 1.6m3/H 2.6m3/H 3.6m3/H 5.5m3/H 7m3/H 10.2m3/H
          電源380V 3KW 4KW 6KW 8KW 9KW 13KW 17KW
          溫度擴(kuò)展 通過(guò)增加電加熱器,擴(kuò)展-25℃~80℃

           

          型號(hào) FLT-402 FLT-403 FLT-404 FLT-406 FLT-408 FLT-410 FLT-415
          FLT-402W FLT-403W FLT-404W FLT-406W FLT-408W FLT-410W FLT-415W
          溫度范圍 -45℃~40℃
          控溫精度 ±0.1℃
          流量控制 10~25L/min? 5bar max 15~45L/min 6bar max 25~75L/min 6bar max
          制熱 采用壓縮機(jī)制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
          制冷量at-35℃ 1kw 1.4kw 1.8kw 2.5kw 3.3kw 5kw 8kw
          內(nèi)循環(huán)液容積 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
          膨脹罐容積 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
          制冷劑 R404A
          載冷劑 硅油、氟化液、乙醇水溶液等
          進(jìn)出接口尺寸 ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG3/4
          冷卻水接口 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
          冷卻水流量at20℃ 1.5m3/H 2.4m3/H 3.5m3/H 5m3/H 5.5m3/H 6m3/H 8m3/H
          電源380V 3KW 4KW 6KW 7.5KW 9KW 12KW 15KW
          溫度擴(kuò)展 通過(guò)增加電加熱器,擴(kuò)展-25℃~80℃
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