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工業(yè)級(jí)半導(dǎo)體老化測(cè)試chamber結(jié)構(gòu)優(yōu)化與長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行的技術(shù)實(shí)現(xiàn)
39在半導(dǎo)體制造的可靠性測(cè)試環(huán)節(jié)，工業(yè)級(jí)半導(dǎo)體老化測(cè)試chamber需在長(zhǎng)期高負(fù)荷運(yùn)行中保持穩(wěn)定性能，以滿足大規(guī)模器件測(cè)試的連續(xù)性與準(zhǔn)確性要求。其耐用性設(shè)計(jì)涉及機(jī)械結(jié)構(gòu)、溫控系統(tǒng)、材料選擇及防護(hù)機(jī)制等多個(gè)維度...
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