FLTZ變頻系列

2024/11/22 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 744

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度jing準控制，控溫范圍：-100℃～+90℃；控溫精度：±0.05℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

產(chǎn)品詳情詳細參數(shù)

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行quan面管理監(jiān)控記錄。

40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機熱氣加熱。chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵。Chiller 100%氦檢測，100%安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠。chiller 100%經(jīng)過24小時連續(xù)運行拷機。

冷凝器微通道換熱器（風(fēng)冷）板式換熱器（水冷）；蒸發(fā)器：板式換熱器；節(jié)流裝置：電子膨脹閥；控制系統(tǒng)：PLC可編程控制器

通訊：RS485接口Modbus RTU協(xié)議，以太網(wǎng)接口 TCP/IP協(xié)議

操作界面：無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出

循環(huán)系統(tǒng)：整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)進入循環(huán)系統(tǒng)。

外殼材質(zhì)：冷軋板噴塑RAL7035；管路內(nèi)部含：不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE

FLTZ? 5℃~+90℃

型號	FLTZ-002	FLTZ-003	FLTZ-004	FLTZ-006	FLTZ-008	FLTZ-010	FLTZ-015
型號	FLTZ-002W	FLTZ-003W	FLTZ-004W	FLTZ-006W	FLTZ-008W	FLTZ-010W	FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷量at10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? （DI溫度需要控制10℃以上）
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10806001500	10806001500

FLTZ? -25℃~+90℃

型號	FLTZ-202	FLTZ-203	FLTZ-204	FLTZ-206	FLTZ-208	FLTZ-210	FLTZ-215
型號	FLTZ-202W	FLTZ-203W	FLTZ-204W	FLTZ-206W	FLTZ-208W	FLTZ-210W	FLTZ-215W
溫度范圍	?-25℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
制冷量at-15℃	2kw	3kw	3.8kw	6kw	7.6kw	10kw	15kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10806001500	10806001500

FLTZ? -45℃~+90℃

型號	FLTZ-402	FLTZ-403	FLTZ-404	FLTZ-406	FLTZ-408	FLTZ-410	FLTZ-415
型號	FLTZ-402W	FLTZ-403W	FLTZ-404W	FLTZ-406W	FLTZ-408W	FLTZ-410W	FLTZ-415W
溫度范圍	?-45℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量	10～25L/min? 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制熱	采用壓縮機制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃	1kw	1.4kw	1.8kw	2.5kw	3.3kw	5kw	8kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進出接口尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
冷卻水接口	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/H	2.4m3/H	3.5m3/H	5m3/H	5.5m3/H	6m3/H	8m3/H
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10805001500	10805001500

FLTZ? -80℃~+90℃

型號	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
溫度范圍	?-80℃～+90℃
控溫精度	±0.05℃ （出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制	7～25L/min? 5bar max		12～45L/min 6bar max
制冷量at-70℃	0.6KW	1KW	1.5KW	2KW	3KW
加熱功率	2KW	2KW	2KW	3.5KW	3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	5507001750	6508501850	7008501850	7008501850	80012001850

FLTZ? -100℃~+90℃

型號	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
溫度范圍	?-100℃～+90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制	7～25L/min 6bar max	12～45L/min 6ba max
制冷量at-90℃	1.5KW	3KW
加熱功率	3.5KW	5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
斷路器	32A	63A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? 5℃~+90℃

型號	FLTZ-002	FLTZ-003	FLTZ-004	FLTZ-006	FLTZ-008	FLTZ-010	FLTZ-015
型號	FLTZ-002W	FLTZ-003W	FLTZ-004W	FLTZ-006W	FLTZ-008W	FLTZ-010W	FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷量at10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? （DI溫度需要控制10℃以上）
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10806001500	10806001500

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -25℃~+90℃

型號	FLTZ-202	FLTZ-203	FLTZ-204	FLTZ-206	FLTZ-208	FLTZ-210	FLTZ-215
型號	FLTZ-202W	FLTZ-203W	FLTZ-204W	FLTZ-206W	FLTZ-208W	FLTZ-210W	FLTZ-215W
溫度范圍	?-25℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
制冷量at-15℃	2kw	3kw	3.8kw	6kw	7.6kw	10kw	15kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10806001500	10806001500

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -45℃~+90℃

型號	FLTZ-402	FLTZ-403	FLTZ-404	FLTZ-406	FLTZ-408	FLTZ-410	FLTZ-415
型號	FLTZ-402W	FLTZ-403W	FLTZ-404W	FLTZ-406W	FLTZ-408W	FLTZ-410W	FLTZ-415W
溫度范圍	?-45℃～90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量	10～25L/min? 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制熱	采用壓縮機制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃	1kw	1.4kw	1.8kw	2.5kw	3.3kw	5kw	8kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進出接口尺寸	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG3/4
冷卻水接口	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/H	2.4m3/H	3.5m3/H	5m3/H	5.5m3/H	6m3/H	8m3/H
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	9503801055	9503801055	9503801055	9804301400	9804301400	10805001500	10805001500

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -80℃~+90℃

型號	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
溫度范圍	?-80℃～+90℃
控溫精度	±0.05℃ （出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制	7～25L/min? 5bar max		12～45L/min 6bar max
制冷量at-70℃	0.6KW	1KW	1.5KW	2KW	3KW
加熱功率	2KW	2KW	2KW	3.5KW	3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
進出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
尺寸	5507001750	6508501850	7008501850	7008501850	80012001850

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -100℃~+90℃

型號	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
溫度范圍	?-100℃～+90℃
控溫精度	±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制	7～25L/min 6bar max	12～45L/min 6ba max
制冷量at-90℃	1.5KW	3KW
加熱功率	3.5KW	5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導(dǎo)熱介質(zhì)	氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4
冷卻水接口	ZG3/4	ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
斷路器	32A	63A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

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