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單通道直冷機(jī)Single Channel Chiller作為半導(dǎo)體行業(yè)溫控的關(guān)鍵設(shè)備之一，其技術(shù)架構(gòu)圍繞高精度溫度控制需求展開。
一、單通道直冷機(jī)的技術(shù)架構(gòu)與溫控原理
單通道直冷機(jī)Single Channel Chiller采用直冷式制冷系統(tǒng)，將制冷劑直接輸出至目標(biāo)控制元件蒸發(fā)換熱，較傳統(tǒng)流體輸送換熱方式提升，特別適用于換熱器換熱面積小但換熱量大的場景。全密閉循環(huán)系統(tǒng)是單通道直冷機(jī)的核心設(shè)計(jì)之一。整個(gè)系統(tǒng)在低溫環(huán)境下不吸收空氣中水分，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，并通過自動(dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)維持循環(huán)穩(wěn)定。循環(huán)液回路采用磁驅(qū)泵，避免軸封泄漏風(fēng)險(xiǎn)，搭配不銹鋼、銅、陶瓷等材質(zhì)的管路，確保系統(tǒng)在寬溫范圍內(nèi)長期穩(wěn)定運(yùn)行。
二、核心優(yōu)勢：從精度控制到系統(tǒng)適配的多角度能力
1、寬溫域高精度控溫性能
單通道直冷機(jī)Single Channel Chiller具備覆蓋低溫到高溫的溫控能力，滿足不同熱負(fù)荷場景需求。
2、快速溫變與沖擊響應(yīng)能力
在半導(dǎo)體器件可靠性測試中，設(shè)備的溫變速度直接影響測試效率。快速響應(yīng)依托于變頻壓縮機(jī)與電子膨脹閥的協(xié)同控制，配合射流換熱技術(shù)，縮短升/降溫時(shí)間的同時(shí)，通過閉環(huán)反饋實(shí)時(shí)監(jiān)控被測元件溫度，確保測試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
3、模塊化設(shè)計(jì)與系統(tǒng)兼容性 ?
單通道直冷機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，只需一臺(tái)備用機(jī)組即可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速切換。在介質(zhì)兼容性方面，設(shè)備支持硅油、乙二醇水溶液等多種載冷劑，滿足不同工藝對導(dǎo)熱介質(zhì)的需求。管路內(nèi)部材質(zhì)與密封設(shè)計(jì)進(jìn)一步保障了與各類介質(zhì)的長期兼容。
三、典型應(yīng)用場景：半導(dǎo)體制造全流程溫控支撐 ?
1、半導(dǎo)體薄膜沉積與工藝控溫
在CVD/PVD等薄膜沉積工藝中，單通道直冷機(jī)為反應(yīng)腔提供穩(wěn)定溫控環(huán)境。通過控制反應(yīng)腔壁溫度，避免反應(yīng)物異常沉積，保障晶圓表面薄膜均勻性。而在半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備中，設(shè)備通過單一介質(zhì)實(shí)現(xiàn)連續(xù)控溫，無需更換導(dǎo)熱介質(zhì)，簡化工藝操作流程。
2、芯片測試與失效分析 ?
射流式高低溫沖擊測試機(jī)可模擬溫度循環(huán)，通過PLC程序控制溫度沖擊參數(shù)，用于芯片電性能測試、失效分析及可靠性評估。
3、電子元器件與材料測試 ?
具備單獨(dú)制冷循環(huán)風(fēng)機(jī)組，可連續(xù)長時(shí)間工作且自動(dòng)除霜，除霜過程不影響庫溫，滿足元器件在苛刻溫度下的性能測試需求。
4、半導(dǎo)體工藝輔助系統(tǒng)溫控 ?
在廢氣冷凝回收場景中，單通道直冷機(jī)通過板式換熱器將廢氣溫度降低，利用二次過冷技術(shù)實(shí)現(xiàn)VOCs等成分的液化捕集，服務(wù)器冷板提供冷卻液，通過全密閉系統(tǒng)設(shè)計(jì)減少水分吸收與介質(zhì)揮發(fā)，配合變頻泵實(shí)現(xiàn)流量與壓力的自動(dòng)調(diào)節(jié)。
單通道直冷機(jī)Single Channel Chiller的溫控精度與穩(wěn)定性成為工藝優(yōu)化的關(guān)鍵因素之一。從單機(jī)復(fù)疊制冷技術(shù)實(shí)現(xiàn)低溫控制，到高低溫快速升降溫技術(shù)，這類設(shè)備通過硬件設(shè)計(jì)與算法優(yōu)化的結(jié)合，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，推動(dòng)制造流程的可靠性與一致性提升。
