帕爾貼Chiller 2025/07/23 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 244 產(chǎn)品特點(diǎn) 特點(diǎn)一溫度范圍：-20~+90℃，控溫精度±0.1℃ 特點(diǎn)二溫度漂移保護(hù)功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定 特點(diǎn)三gai善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性 特點(diǎn)四低能耗，沒有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)，同時(shí)只有在有負(fù)載時(shí)輸出，大幅度降低能耗
產(chǎn)品介紹產(chǎn)品型號<span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start">?</span><span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start">?</span><span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start">?</span><span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start">?</span><span data-mce-type="bookmark" style="display: inline-block; width: 0px; overflow: hidden; line-height: 0;" class="mce_SELRES_start">?</span> 帕爾貼Chiller 適用范圍 冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制； 對于靜電卡盤(ESC)動(dòng)態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝； 快速和jing確的溫度控制，能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求； gao效節(jié)能，節(jié)省空間，同時(shí)還能夠穩(wěn)定的控制溫度。 LNEYA 帕爾貼熱電制冷器Chiller有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和jing確的溫度控制 高可靠性和低使用成本；工業(yè)空間占用率??；ji低的導(dǎo)熱液填充量； 低能耗，沒有壓縮機(jī)和制冷劑的系統(tǒng)，同時(shí)只有在有負(fù)載時(shí)輸出，大幅度降低能耗； 制熱、直冷時(shí)，冷熱部件沒有與導(dǎo)熱液直接接觸；動(dòng)態(tài)控溫，jing準(zhǔn)控制過程溫度，快速溫度響應(yīng)； 溫度漂移保護(hù)功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定；gai善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性；模塊化部件使得維修更加方便；使用全氟液體。 型號 TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W 溫度范圍 -20℃~90℃ 控溫精度 ±0.1℃ 制冷能力 20℃ 1200W 2450W 4500W 10℃ 900W 1925W 3500W 0℃ 600W 1400W 2600W ?-10℃ 350W 875W 1600W ?-20℃ 80W 350W 700W 制熱能力 ＞3000W ＞6000W ＞12000W 泵類型 直流磁力泵 壓力（bar） ≤4 流量 15L/min at 2bar 流體 Galden HT135 冷卻水溫度 DI＜20℃ 冷卻水流量 ≥12L/min ≥20L/min ≥32L/min CDA開啟溫度 ＜30℃ CDA壓力 0.5-0.8bar CDA流量 2-3m3/h CDA露點(diǎn)溫度 ≤30℃ 電源電壓 AC208V,三相電壓 型號 TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W 溫度范圍 -20℃~90℃ 控溫精度 ±0.1℃ 制冷能力 20℃ 1200W 2450W 4500W 10℃ 900W 1925W 3500W 0℃ 600W 1400W 2600W ?-10℃ 350W 875W 1600W ?-20℃ 80W 350W 700W 制熱能力 ＞3000W ＞6000W ＞12000W 泵類型 直流磁力泵 壓力（bar） ≤4 流量 15L/min at 2bar 流體 Galden HT135 冷卻水溫度 DI＜20℃ 冷卻水流量 ≥12L/min ≥20L/min ≥32L/min CDA開啟溫度 ＜30℃ CDA壓力 0.5-0.8bar CDA流量 2-3m3/h CDA露點(diǎn)溫度 ≤30℃ 電源電壓 AC208V,三相電壓 上一篇: 面板系列Chiller 下一篇: 負(fù)壓型控溫機(jī)組
產(chǎn)品特點(diǎn) 特點(diǎn)一采?PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.3℃ 特點(diǎn)二系統(tǒng)運(yùn)?時(shí)管... 負(fù)壓型控溫機(jī)組 詳細(xì)信息
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