三通道系列Chiller

2025/07/23 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 212

三通道系列 Triple Channel Chiller

產(chǎn)品特點

特點一控溫范圍：-20℃～+100℃，控溫精度：±0.1℃

特點二優(yōu)化系統(tǒng)傳熱設(shè)計，節(jié)省循環(huán)液使用量

特點三三通道整合，支持每個通道du立控溫范圍、導(dǎo)熱介質(zhì)流量

特點四深化性能開發(fā)，匹配先進刻蝕工藝需求

產(chǎn)品介紹產(chǎn)品參數(shù)

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適用范圍

FLTZ系列三通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度jing準控制，系統(tǒng)支持三個通道du立控溫，每個通道有du立的溫度范圍、leng卻加熱neng力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等。

公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度，加載情況下控溫精度可達±0.1C，可在-20℃~+100℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。

型號	FLTZ-203W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
溫度范圍	-10℃～+60℃	+30℃～+80℃	-10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	4kW@-10℃/21kW@+20℃	6 kW@+30℃	3kW@-10℃
加熱能力	4kW	4.5+6kW	3kW
流量/壓力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
斷路器	100A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型號	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
溫度范圍	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
加熱能力	2kW	6kW	Pump Heat Loss
流量/壓力 MAX	30L/min 0.85MPa	30L/min 0.85MPa	20L/min 0.8MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
斷路器	75A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫）
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型號	FLTZ-203W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
溫度范圍	-10℃～+60℃	+30℃～+80℃	-10℃～+80℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	4kW@-10℃/21kW@+20℃	6 kW@+30℃	3kW@-10℃
加熱能力	4kW	4.5+6kW	3kW
流量/壓力 MAX	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa	17L/min 0.7MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
斷路器	100A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

型號	FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W
管道	通道1	通道2	通道3
溫度范圍	-20℃～+50℃	+30℃～+100℃	+30℃～+40℃
溫度穩(wěn)定度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
冷卻能力	15kW@-10℃	13kW@PCW+15℃	8kW@PCW+10℃
加熱能力	2kW	6kW	Pump Heat Loss
流量/壓力 MAX	30L/min 0.85MPa	30L/min 0.85MPa	20L/min 0.8MPa
導(dǎo)熱介質(zhì)接口	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4
環(huán)境溫度	10～35 ℃	10～35 ℃	10～35 ℃
環(huán)境濕度	30～70%	30～70%	30～70%
冷卻水溫度	15～20℃	15～20℃	15～20℃
冷卻水流量	30L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃	15L/min@15~20℃
斷路器	75A
?藝過程溫度控制	可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度（動態(tài)控溫）
重量	600kg
外形尺寸 cm	60100170

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