Chiller直冷控溫機(jī)組

接觸式高低溫測試機(jī)

設(shè)備應(yīng)?溫度范圍-75~+200℃，?持從ji低溫到?溫的快速升溫和降溫，最快速率可達(dá)到75℃/min，能夠精確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。
應(yīng)?于芯?研發(fā)：在芯?設(shè)計(jì)階段，驗(yàn)證其在不同溫度下的性能表現(xiàn)；
質(zhì)量控制：在芯??產(chǎn)過程中，進(jìn)?可靠性測試，確保產(chǎn)品符合標(biāo)準(zhǔn)；
失效分析：通過?低溫測試，分析芯?在ji端溫度下的實(shí)效模式。

 

設(shè)備型號		KSD-705	KSD-705PULS	KSD-710
溫度范圍		-70℃~+200℃	-75℃~200℃	-75℃~200℃
溫度精度		±0.2℃
升降溫速率		最高達(dá)75℃/min
制冷能力	0℃	800W	1000W	2000W
	?-40℃	500W	800W	1500W
	?-55℃	300W	450W	900W

ZLTZ直冷控溫機(jī)組Chiller

 

新型直冷機(jī)適用于半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)中心、新能源等需要高效、緊湊、可靠且精確散熱的行業(yè),尤其是在功率密度高、空間受限且對溫度敏感的領(lǐng)域有顯著優(yōu)勢。新型直冷機(jī)無二次換熱,相比于傳統(tǒng)液冷設(shè)備,減少二次換熱帶來的傳熱損失,提升能效30%以上。新型直冷機(jī)能夠提供純液態(tài)的換熱介質(zhì),相比于傳統(tǒng)直冷機(jī)氣液兩相混合的換熱介質(zhì),新型直冷機(jī)充分利用制冷劑的潛熱換熱,換熱密度大幅提高,所需的換熱面積減少,能夠滿足半導(dǎo)體等行業(yè)高功率密度的需求。新型直冷機(jī)具備多路供液的能力,可精確控制每個支路的制冷量,滿足各
支路的控溫需求。新型直冷機(jī)采用PT100高精度溫度傳感器和PID智能控制系統(tǒng),溫度誤差范圍ji小,控溫精確可靠。

型號		ZLTZ-3 ZLTZ-3W	ZLTZ-6 ZLTZ-6W	ZLTZ-10 ZLTZ-10W	ZLTZ-15W
溫度范圍		?-10℃ ~25℃
制冷量	0℃	8.1kW	16.25kW	28.5kW	40.2kW
	-10℃	5.48kW	11kW	19.35kW	26.6kW
接口尺寸	出口	φ12	φ12	φ28	φ28
	回口	φ20	φ20	φ35	φ35
水冷	25℃	2m3/h	4m3/h	6.2m3/h	10m3/h
冷卻水接口		G3/4	G3/4	G1	G1 1/4

型號		ZLTZ4-3 ZLTZ4-3W	ZLTZ4-6 ZLTZ4-6W	ZLTZ4-10 ZLTZ4-10W	ZLTZ4-15W
溫度范圍		?-40℃ ~20℃
制冷量	-10℃	5.2kW	11.15kW	18.4kW	26.3kW
	-20℃	3.47kW	7.41kW	12.3kW	18.35kW
	-30℃	2.24kW	4.81kW	7.92kW	11.8kW
	-40℃	1.36kW	2.95kW	4.7kW	5.83kW
接口尺寸	出口	φ12	φ12	φ16	φ22
	回口	φ22	φ22	φ35	φ35
水冷	25℃	2m3/h	4.2m3/h	5.3m3/h	6.2m3/h
冷卻水接口		G3/4	G3/4	G3/4	G1

型號		ZLTZ8-3 ZLTZ8-3W	ZLTZ8-6 ZLTZ8-6W	ZLTZ8-10 ZLTZ8-10W	ZLTZ8-15W
溫度范圍		?-80℃~ -30℃
制冷量	-30℃
	-40℃	6.9kW	14.8kW	24.4kW	36.7kW
	-60℃	3.3kW	7.1kW	12kW	17.4kW
	-75℃	1.65kW	3.55kW	6kW	8.7kW
接口尺寸	出口	φ12	φ12	φ16	φ22
	回口	φ22	φ22	φ35	φ35
水冷	25℃	2.7m3/h	5.3m3/h	6.68m3/h	9.3m3/h
冷卻水接口		G3/4	G3/4	G1	G1 1/4

ZLJ系列

將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進(jìn)入目標(biāo)控制元件（換熱器）換熱，從而使目標(biāo)控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（氣體）輸送入換熱器換熱能力更高，這樣特別適用于換熱器換熱面積小，但是換熱量大的運(yùn)用場所。也可以如氣體捕集運(yùn)用，將制冷劑直接通入捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表面冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的氣體。

 

型號	ZLJ-41	ZLJ-43	ZLJ-46
	ZLJ-41W	ZLJ-43W	ZLJ-46W
溫度范圍	?-40℃～-15℃
控溫精度	±1℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷AT-35℃	0.5kw	1.6kw	3.2kw
制冷劑	R404A 可選配R507C R448
高溫降溫	具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時迅速進(jìn)行降溫能力
尺寸	320*400*600	800*700*600	450*700*1350
斷路器	6A	6A	16A

型號	ZLJ-81	ZLJ-83	ZLJ-86
	ZLJ-81W	ZLJ-83W	ZLJ-86W
溫度范圍	?-80℃～-50℃
控溫精度	±1℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷AT-70℃	0.4kw	1.3kw	2.5kw
制冷劑	R404A/R508B
高溫降溫	具備高溫150度直接降溫技術(shù)，滿足目標(biāo)在高溫運(yùn)行時迅速進(jìn)行降溫能力
尺寸	320*630*650	950*1000*800	550*1000*1750
斷路器	10A	16A	25A

型號	SLJ-3W	SLJ-4W	SLJ-6W	SLJ-11W
溫度范圍	-150℃～-110℃
制冷AT-120℃	3KW	4KW	6KW	11KW
制冷AT-135℃	2.5KW	3.3KW	5KW	9KW
制冷劑	LNEYA -150混合制冷劑
尺寸	750*750*1750	750*750*1750	950*1000*2050	1300*2000*3500
斷路器	40A	55A	65A	100A

 

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快速溫變控溫卡盤CHUCK

該產(chǎn)品可以實(shí)現(xiàn)快速溫度變化，精準(zhǔn)控制溫度。系統(tǒng)本??帶制冷機(jī)，避免了液氮、?氧化碳等的消耗，每個系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元。

系統(tǒng)提供開放的表?平整?作平臺，快速升降溫、恒溫控制，運(yùn)?于RF器件和?密度功率器件測試，也可以運(yùn)?于實(shí)驗(yàn)室平板快速冷卻（?漿、?物制品、電池）等

平板內(nèi)部采?制冷劑直接蒸發(fā)?式，相對液冷?式?幅度提?了換熱效率，提?單位?積平板的換熱功率。

 

 

溫度范圍	-70℃~200℃（可以定制各種溫度范圍）
溫度均勻性	土0.5℃
加熱速率	-55℃至+25℃：12 分鐘 -40℃至+25℃：10 分鐘 +25℃至+150℃：20 分鐘 +25℃至+200℃：28 分鐘 +25℃至+300℃：40 分鐘
冷卻速率	+150℃至+25℃：25 分鐘 +200℃至+25℃：30 分鐘 +300℃至+25℃：40 分鐘 +25℃至0℃：15 分鐘 +25℃至-40℃：35 分鐘 +25℃至-55℃：65 分鐘
冷卻方式	直冷系統(tǒng)/液冷系統(tǒng)/氣冷系統(tǒng)
控溫方式	內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確FII調(diào)節(jié)控溫
晶圓載板	鍍鎳(金/非導(dǎo)電)，與卡盤柔性連接，方便更換，載板平面度3μm≤10μm
晶圓吸附類型	真空吸附
卡盤尺寸	φ330*58mm
電源220V 50HZ	200~230V AC50/60HZ 16A max
通訊方式	ModbusRTU協(xié)議,RS485接口，選配CAN通信總線、以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議